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离子束蚀刻机通用规范-电子元器件与信息技术-国家标准-标准查询-标准物质网'

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基本信息
产品编号 GB/T 15861-2012
中文名称 离子束蚀刻机通用规范
英文名称 General specification of ion beam etching system
标准状态 现行
适用范围 本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
发布日期 2012/11/5
实施日期 2013/2/15
编制语言 中文简体
关联信息
标准ICS号 31-550
中标分类号 L97
标准类型 CN
标准属性 GB
其他信息
起草人 陈特超、周大良
起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所
归口单位 中国电子技术标准化研究所
提出单位 中华人民共和国工业和信息化部
发布部门 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
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