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离子束蚀刻机通用技术条件-电子元器件与信息技术-国家标准-标准查询-标准物质网'

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基本信息
产品编号 GB/T 15861-1995
中文名称 离子束蚀刻机通用技术条件
英文名称 Generic specification of ion beam etching system
标准状态 被代替
适用范围 暂无
发布日期 1995/12/22
实施日期 1996/8/1
编制语言 中文简体
关联信息
标准ICS号 31.2
中标分类号 L97
标准类型 CN
标准属性 GB
其他信息
起草人 安志超、廖温初
起草单位 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
归口单位 电子工业部标准化研究所
提出单位 中华人民共和国电子工业部
发布部门 国家技术监督局
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